Plasma ger effektiv ytbeläggning
Åke Hjelm ake.hjelm@liu.se Tel: 013-281395 Mobil: 013-281395 Fax: 013-282825 En ny process för ytbeläggning har utvecklats av fysiker vid Linköpings universitet i samarbete med företaget Chemfilt Ionsputtering AB. Genom att ytfilmen tillverkas ur ett plasma där beläggningsmaterialet är joniserat har man större möjlighet att kontrollera och styra processen. Plasmat har intressanta egen